高真空存储柜
2025/11/11
高真空存储柜
PZXT系列高真空存储柜主要用于半导体器件工艺生产过程中存放成品、半成品、原材料及器具，是替代氮气存储柜的高端设备。
产品特点：
1、设备内含氧量、含水量低，极大的提升了产品良率；
2、设备内颗粒少，可以减少对产品的影响；
3、使用灵活方便，开启/关闭某一个或几个腔体，对整体没有影响。
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设备型号 |
PZXT0602-N |
PZXT1100-N |
PZXT0212-N |
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外形尺寸（L×W×H）(mm) |
1400×1800×1850 |
1500×2000×1850 |
1200×1800×1850 |
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洁净度 |
Clss100 |
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极限真空度（pa） |
1×10-5 |
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工作真空度（pa） |
8×10-3 |
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漏率(Pa·m3/s) |
2×10-9 |
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单个腔体尺寸（L×W×H）(mm) |
300×300×350（略称DabbreviationD） |
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腔体数量（D/S） |
6/2 |
11/0 |
2/12 |
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